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MEMS Express サーモパイル

・レイアウトデザインはお客様のご要望に沿います。
・フィルムの積層と厚さは固定ですが、ポリシートの抵抗は調整可能。
・1P2Mおよび2P2Mの構造
・1.0mm2以上の大型サスペンデッドダイアフラム
・黒色吸収層追加による効率化
・累計出荷枚数: 18,000枚以上

1P2M サーモパイルの断面図

MEMSExpressサーモパイル01

2P2M サーモパイルの断面図

MEMSExpressサーモパイル02

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