MEMS Express 圧力センサ | 株式会社アイテクソリューション

MEMS Express 圧力センサ

・カスタマイズ可能な汎用プラットフォーム
・成熟したプロセスモジュールを活用し、市場投入までの時間を短縮
・幅広い圧力レンジで様々な条件を満たします
・ウェハー全体で均一な性能と出力
・迅速な評価のためのサンプル提供が可能

Ultra-Low Pressure Sensor (ULPS)

・差圧用圧力センサ: 0.5psi / 1psi
・小さくて安定したゼロオフセット、低いTCO
・高い破壊圧性能

Low Pressure Sensor with Top Recess (ALP-C)

・差圧用圧力センサ: 0.15psi / 0.3psi
・高い感度と直線性のフットプリント

Ultra-High Pressure Sensor (UHPS)

・絶対圧用圧力センサ: 1000psi / 3000psi / 5000psi / 7500psi
・オープンホイートストンブリッジ
・環境外乱を遮断する上部シールド層（POLY）
・電気的絶縁のための厚いガラス層

High Pressure Sensor (HPS)

・ゲージ圧用圧力センサ: 150psi / 300psi
・クローズホイートストンブリッジ
・環境外乱を遮断する上部シールド層（POLY）
・電気的絶縁のための厚いガラス層