圧力範囲
低圧:0~0.3psi(最大1.5psi)
圧力タイプ
ゲージ圧
パッケージ
ボタン型
流量範囲
0~10sccm(最大1,000sccm)
使用可能媒体
気体・液体
流量範囲
0~10sccm(最大10slpm)
使用可能媒体
気体
流量範囲
0~35slpm(最大450slpm)
使用可能媒体
気体
流量範囲
0~10sccm(最大50slpm)
使用可能媒体
気体
取付方式
クランプオン式
対象管径
(呼び径)
V0: 6A ~20A
V1: 25A ~100A
V2: 80A ~300A
Z1: 300A ~1500A
基準精度
0.6%
取付方式
挿入式
対象管径
(呼び径)
80A ~300A
基準精度
1.0%
取付方式
挿入式
(多点検出)
対象管径
(呼び径)
DT1: 75A ~350A
DT2: 400A ~450A
DT3: 500A ~1500A
基準精度
0.5%
取付方式
内接挿入式
対象管径
(呼び径)
75A ~350A
基準精度
1.0%