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主にMEMSセンサーソリューションに関連する知識を随時提供していきます。
ご参考までにどうぞご利用ください。
役立つ知識一覧
原子間力顕微鏡 (Atomic Force Microscopy 以下、AFM)とは、
走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope 以下、SPM) の一種であり、試料表面を微細なプローブで走査し、ナノスケールの表面構造を三次元的に測定する装置です。AFMの分解能は非常に高く、プローブの深針のサイズにもよりますが、原子などのサブナノレベルまで測定することができます。
走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope 以下、SPM) の一種であり、試料表面を微細なプローブで走査し、ナノスケールの表面構造を三次元的に測定する装置です。AFMの分解能は非常に高く、プローブの深針のサイズにもよりますが、原子などのサブナノレベルまで測定することができます。
流量センサの検出方式はカルマン渦式・コリオリ式・超音波式・熱式(サーミスタ式)・熱式(MEM式)など多数ございます。それぞれメリット・デメリットがあるため、用途(精度・使用媒体・流量など)によって使い分けることが必要となります。
弊社取り扱いのSensormateのフローセンサは、熱式(MEMS式)を採用しております。
弊社取り扱いのSensormateのフローセンサは、熱式(MEMS式)を採用しております。
圧力値は国際単位系(SI)において、
パスカル(Pa)が計量法の改正により採用されたことで各メーカーでの単位の移行が進んできております。
一方、圧力単位が完全に移行できておらず、従来から使用されている単位で表記されているデータシートも多数見受けられます(弊社製品でもpsiやbar表記が多数ございます)。そのためお求めの圧力単位に合わせる必要があるのが現状です。
パスカル(Pa)が計量法の改正により採用されたことで各メーカーでの単位の移行が進んできております。
一方、圧力単位が完全に移行できておらず、従来から使用されている単位で表記されているデータシートも多数見受けられます(弊社製品でもpsiやbar表記が多数ございます)。そのためお求めの圧力単位に合わせる必要があるのが現状です。
下記圧力の各単位の換算表です。ご参考ください。
流量単位は国際単位系(SI)において、立法メートル毎秒が用いられていることが多いです。
半導体分野では、L/mだけでなくSLM(Standard Litter Min)・SLPM・sccmなどの単位で表記している企業も多数ございます。
流量計測の分野では、温度・圧力によって流体量が変化する(ボイル・シャルルの法則)ため、Standardいわゆる基準となる温度と圧力条件で定義する必要があります。
この基準値はメーカーによって異なるため、各メーカーに確認することをおすすめします。
弊社取り扱いのSensormateでは0℃,1atmを基準として定義しております。
半導体分野では、L/mだけでなくSLM(Standard Litter Min)・SLPM・sccmなどの単位で表記している企業も多数ございます。
流量計測の分野では、温度・圧力によって流体量が変化する(ボイル・シャルルの法則)ため、Standardいわゆる基準となる温度と圧力条件で定義する必要があります。
この基準値はメーカーによって異なるため、各メーカーに確認することをおすすめします。
弊社取り扱いのSensormateでは0℃,1atmを基準として定義しております。
